отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов

3 71 119 23 20 4 - отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов

Класс опасности:
IV класс
Агрегатное состояние:
Твердое (используется, если твердый отход представлен смесью различных физических форм)
Документ (основание):
Приказ Росприроднадзора №670 от 04.10.2021 г.

Происхождение отхода

Производство:
Производство кремниевых полупроводниковых приборов
Процесс:
Вакуумное напыление алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов