отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
3 71 119 23 20 4 - отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
- Класс опасности:
- IV класс
- Агрегатное состояние:
- Твердое (используется, если твердый отход представлен смесью различных физических форм)
- Документ (основание):
- Приказ Росприроднадзора №670 от 04.10.2021 г.
Происхождение отхода
- Производство:
- Производство кремниевых полупроводниковых приборов
- Процесс:
- Вакуумное напыление алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов