растворы на основе соединений сурьмы и фосфора, отработанные при легировании кремниевых пластин
3 71 114 21 32 3 - растворы на основе соединений сурьмы и фосфора, отработанные при легировании кремниевых пластин
- Класс опасности:
- III класс
- Агрегатное состояние:
- Твердое в жидком (суспензия)
- Документ (основание):
- Приказ Росприроднадзора №670 от 04.10.2021 г.
Происхождение отхода
- Производство:
- Производство кремниевых пластин для кремниевых полупроводниковых приборов
- Процесс:
- Легирование кремниевых пластин