растворы на основе соединений сурьмы и фосфора, отработанные при легировании кремниевых пластин

3 71 114 21 32 3 - растворы на основе соединений сурьмы и фосфора, отработанные при легировании кремниевых пластин

Класс опасности:
III класс
Агрегатное состояние:
Твердое в жидком (суспензия)
Документ (основание):
Приказ Росприроднадзора №670 от 04.10.2021 г.

Происхождение отхода

Производство:
Производство кремниевых пластин для кремниевых полупроводниковых приборов
Процесс:
Легирование кремниевых пластин